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具體分析下愛德華螺桿真空泵的技術(shù)原理

閱讀:760 更新時間:2023-02-13 14:06:20

愛德華螺桿真空泵是一種采用一對螺旋軸進(jìn)行抽吸的新型吸氣機(jī),它具有長壽命,低能耗,無油污染等特點(diǎn),被廣泛用于制藥、化工、半導(dǎo)體等行業(yè)。

愛德華螺桿真空泵的技術(shù)原理:

該設(shè)備把兩個經(jīng)過嚴(yán)格動平衡校正、用軸承做支撐的螺桿,安裝在泵腔內(nèi),并在兩個螺桿之間留下合理的空隙,設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時,兩個轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作同步高速反向旋轉(zhuǎn),由此來產(chǎn)生吸氣和排氣。具體的工作過程分為三個:

1.吸氣過程

陽轉(zhuǎn)子按逆時針方向旋轉(zhuǎn),陰螺桿按順時針方向旋轉(zhuǎn),隨著轉(zhuǎn)子開始轉(zhuǎn)動,由于齒的-端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積,這個齒間容積的擴(kuò)大,在其內(nèi)部形成了一定的真空,而此齒間容積又僅與吸氣口連通,因此氣體便在壓差作用下來流入其中。

2.壓縮過程

轉(zhuǎn)子端面是排氣端面,在這里,陽轉(zhuǎn)子沿順時針方向旋轉(zhuǎn),陰轉(zhuǎn)于沿逆時針方向旋轉(zhuǎn),隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小,導(dǎo)致壓力升高,從而實現(xiàn)氣體的壓縮過程。

3.排氣過程

排氣過程,齒間容積與排氣孔口連通后,即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小,具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。
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